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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱:晶圓劃片機(jī)、硅片、石英、砷化鎵切割機(jī)

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2024-08-20

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶提供晶圓劃片機(jī)、硅片、石英、砷化鎵切割機(jī)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。

產(chǎn)品特性Product characteristics

專(zhuān)業(yè)儀器設(shè)備與測(cè)試方案供應(yīng)商——上海堅(jiān)融實(shí)業(yè)有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅(jiān)友(上海)測(cè)量?jī)x器有限公司JETYOO INSTRUMENTS,為原安捷倫Agilent【現(xiàn)是德KEYSIGHT】品牌技術(shù)經(jīng)理-堅(jiān)JET與吉時(shí)利KEITHLEY【現(xiàn)泰克Tektronix】品牌產(chǎn)品經(jīng)理-融YOO于2011年共同創(chuàng)辦,專(zhuān)注工業(yè)測(cè)試領(lǐng)域十六年,志在破舊立新!*進(jìn)口儀器設(shè)備大多數(shù)廠家僅在國(guó)內(nèi)設(shè)銷(xiāo)售點(diǎn),但技術(shù)支持薄弱甚至沒(méi)有,而代理經(jīng)銷(xiāo)商也只做商務(wù),不做售前技術(shù)支持/測(cè)試方案和售后使用培訓(xùn)/維修校準(zhǔn)的空白。我們的技術(shù)型銷(xiāo)售均為本科以上學(xué)歷,且均有10年以上測(cè)試行業(yè)經(jīng)驗(yàn),以我們*進(jìn)*的經(jīng)營(yíng)理念,與客戶互惠互利合作雙贏,重在協(xié)助用戶采購(gòu)與技術(shù)工程師的工作,提供較有競(jìng)爭(zhēng)力的供應(yīng)鏈管理與售前售后技術(shù)支持。堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶提供儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。


公司生產(chǎn)的6英寸系列,8英寸系列,10英寸系列、12英寸雙軸系列、12英寸雙軸全自動(dòng)系列晶圓劃片機(jī)、硅片、石英、砷化鎵切割機(jī)是綜合了水氣電、高速主軸、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備。主要用于硅集成電路,發(fā)光二極管,鈮酸鋰,壓電陶瓷,砷化鎵,藍(lán)寶石,氧化鋁,氧化鐵,石英,玻璃,陶瓷,專(zhuān)注于硅片、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、PCB板、太陽(yáng)能電池片等材料的劃切加工。實(shí)現(xiàn)了晶圓從裝片、對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗到卸片的自動(dòng)化操作。配置了大功率對(duì)向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專(zhuān)用顯微鏡,大幅度減少對(duì)準(zhǔn)和檢查時(shí)間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。


應(yīng)用領(lǐng)域:IC、光學(xué)光電、通訊、LED封裝、QFN封裝、DFN封裝、BGA封裝

可精密切割材料:硅片、鈮酸鋰、陶瓷、玻璃、石英、氧化鋁、PCB板


特點(diǎn):

切割清洗一體化;

標(biāo)配非接觸測(cè)高功能(NCS);

選配刀痕檢測(cè)功能;

選配刀片破損檢測(cè)功能(BBD);

選配工件形狀檢測(cè)功能;

選配數(shù)據(jù)掃描錄入功能;



設(shè)備工作流程:

1.下取物臂將待切割材料從晶片盒中取出,將待切割材料放置到預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行預(yù)校準(zhǔn),再送到工作盤(pán)上,進(jìn)行劃片作業(yè)。

2. 上取物臂從工作盤(pán)將切割完成的材料移動(dòng)到清洗盤(pán)上,進(jìn)行二流體清洗和晶片干燥。

3 .下取物臂將切割完成的材料放回預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行預(yù)校準(zhǔn),再推回晶片盒中。



使用條件:

1. 請(qǐng)將機(jī)器設(shè)在20~25℃的環(huán)境中(波動(dòng)范圍控制在±1℃以內(nèi));室內(nèi)濕度40%~60%,保持恒定,無(wú)凝結(jié)。

2. 請(qǐng)使用大氣壓露點(diǎn)在-15℃以下,殘余油份為0.1ppm,過(guò)濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。

3. 請(qǐng)將切削水的水溫控制為室溫+2℃(波動(dòng)范圍在±1℃以內(nèi)),冷卻水的水溫控制為與室溫相同(波動(dòng)范圍控制在±1℃以內(nèi))。

4. 請(qǐng)避免設(shè)備受到重力撞擊以及外界任何振動(dòng)威脅。另外,請(qǐng)不要將設(shè)備裝在鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口、產(chǎn)生高溫的裝置以及產(chǎn)生油污的裝置附近。

5.請(qǐng)把本設(shè)備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場(chǎng)所。

6.請(qǐng)嚴(yán)格按照本公司產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)進(jìn)行操作。


晶圓劃片機(jī)、硅片、石英、砷化鎵切割機(jī)規(guī)格參數(shù)指標(biāo)

配置與性能加工尺寸mmφ12"∣□275
切槽深度mm≦4mm或定制
主軸轉(zhuǎn)速范圍min-?6000~60000
額定輸出功率KW直流.2.4at60000min-?
X軸有效行程mm310
速度設(shè)定范圍mm/s0.1~1000
Y軸有效行程mm310
運(yùn)動(dòng)分辨率mm0.0001
單一定位精度mm≦0.002/5
全程定位精度mm0.005/310
Z軸有效行程mm40
最大適用刀片mmφ58
行程分辨率mm0.00005
重復(fù)定位精度mm0.001
θ軸轉(zhuǎn)角范圍deg380
基礎(chǔ)規(guī)格電源kVA7.0(三相,AC380V)
耗電量(參考值)kw
壓縮空氣Mpa
L/min
0.5~0.6
最大消耗量550
切削水Mpa
L/min
0.2﹣0.3
最大消耗量9.0
冷卻水Mpa
L/min
0.2﹣0.3
最大消耗量3.0
排風(fēng)量m2/min800
尺寸W*D*Hmm1200*1550*1800
重量kg2000


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